电子工业用超纯水概述

半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用许多的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技能分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

电子工业用超纯水设备的工艺流程

电子工业用超纯水设备的工艺大致分红以下几种：

1、选用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方法，其根本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精细过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精细过滤器→用水点

2、选用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方法，其根本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精细过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精细过滤器→用水点

3、选用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方法，这是一种制取超纯水的zui新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其根本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精细过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→

目前制备电子工业用超纯水的工艺根本上是以上三种，其他的工艺流程大都是在以上三种根本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺陷分别列于下面：

1、*种选用离子交换树脂其优点在于初出资少，占用的地方少，但缺陷就是需求经常进行离子再生，消耗许多酸碱，并且对环境有必定的损坏。

2、第二种选用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比选用离子交换树脂方法要高，但离子设备再生周期相对要长，消耗的酸碱比单纯选用离子树脂的方法要少许多。但对环境仍是有必定的损坏性。

3、第三种选用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)设备，这是目前制取超纯水zui经济，zui环保用来制取超纯水的工艺，不需求用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么损坏性。其缺陷在于初出资相对以上两种方法过于贵重。

一般由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精细过滤器等构成前期预处理体系、RO反渗透主机体系、离子交换混床(EDI电除盐体系)体系等构成主要设备体系。水箱均设有液位操控体系、水泵均设有压力保护设备、在线水质检测操控仪表、电气选用PLC可编程操控器，真正做到了无人职守，同时在工艺选材上选用引荐和客户要求相统一的方法，使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。